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在塑料表面用磁控濺射制備電磁屏蔽膜的研究
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發(fā)表于: 2011-12-18
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磁控濺射
屏蔽
塑料
基底
在
塑料
表面用
磁控濺射
制備電磁
屏蔽
膜的研究摘要:隨著電磁污染的日益嚴(yán)重以及塑料在
電子
產(chǎn)品
封裝
上的廣泛應(yīng)用,對(duì)電子產(chǎn)品進(jìn)行電磁屏蔽設(shè)計(jì)已成為必然趨勢(shì)。本文采用磁控濺射的方法在 PET塑料
基底
上沉積多種膜系的
金屬
屏蔽膜層,并對(duì)金屬膜層的制備
工藝
進(jìn)行了研究,最后采用波導(dǎo)法對(duì)金屬膜層的屏蔽效能進(jìn)行測(cè)試。研究表明,采用 Cu/ 1Cr18Ni9Ti雙層金屬膜層
結(jié)構(gòu)
,可以獲得良好的表面性能以及結(jié)合力,結(jié)合力達(dá)到500 kPa以上;總厚度僅為764 nm的 Cu/ 1Cr18Ni9Ti在215 GHz時(shí)可獲得60 dB以上的屏蔽效能;在總厚度相等的情況下,雙面金屬層比單面金屬層具有更高的效果。
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