Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)從入門到精通	京東雙十一活動(dòng)紅包購(gòu)物券領(lǐng)取	Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)踐基礎(chǔ)(陳家璧)	ZEMAX光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)戰(zhàn)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨(dú)家供應(yīng)商	光學(xué)設(shè)計(jì)與光學(xué)元件	CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape	計(jì)算光學(xué)帶來(lái)的成像革命

發(fā)帖回復(fù)

2736閱讀
0回復(fù)

[下載]中頻磁控濺射制備GaN薄膜 [復(fù)制鏈接]

上一主題下一主題

離線chenchao

實(shí)習(xí)生

發(fā)帖: 61

光幣: 248

光券: 0

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2011-12-18

關(guān)鍵詞：磁控濺射薄膜

中頻磁控濺射制備GaN薄膜摘要：采用中頻磁控濺射技術(shù)，以金屬 Ga 為靶材料，在 Si(111)襯底上形成了 GaN 薄膜，研究了濺射壓強(qiáng)、襯底溫度等對(duì)GaN薄膜結(jié)構(gòu)和成分的影響。發(fā)現(xiàn)沉積氣壓為0.4~1.0 Pa 時(shí)，薄膜呈GaN(002)取向，氣壓大于1.0 Pa 和小于0.4 Pa 時(shí)，用 X 射線衍射方法難以觀察到GaN(002)的衍射峰。X射線能譜分析表明在最佳實(shí)驗(yàn)
條件下制備的GaN薄膜的元素比Ga:N為1:1。

无码日韩精品一区二区免费_极品尤物一区二区三区_国产在线乱码一区二三区_内射女校花一区二区三区

帖子

[下載]中頻磁控濺射制備GaN薄膜 [復(fù)制鏈接]


	關(guān)閉您還沒(méi)有登錄，快捷通道只有在登錄后才能使用。立即登錄還沒(méi)有帳號(hào)？趕緊注冊(cè)一個(gè)