中頻非平衡磁控濺射制備 Ti-N-C膜摘要：采用霍爾離子源輔助中頻非平衡磁控濺射技術(shù)，通過改變工作氣氛、 偏壓模式、 濺射電流以及輔助離子束電流，在不銹鋼材料基體上制備了 Ti/ TiN/ Ti (C ,N) 硬質(zhì)耐磨損膜層。對薄膜的顏色、 晶體結(jié)構(gòu)、 膜基結(jié)合力等性能進行了檢測分析。 結(jié)果表明:膜層的顏色對工作氣氛非常敏感，反應(yīng)濺射中工作氣氛的微小變化會引起表面膜層顏色很大的變化，在正常的反應(yīng)氣體進氣量范圍內(nèi)和較小的基體偏壓下 ，薄膜的晶體結(jié)構(gòu)沒有明顯的擇優(yōu)取向，但是反應(yīng)氣體的過量通入會使薄膜的晶體結(jié)構(gòu)出現(xiàn)晶面擇優(yōu)取向趨勢，非平衡磁控濺射成膜技術(shù)對薄膜晶體結(jié)構(gòu)的擇優(yōu)取向影響并不是很大，在鍍膜過程中施加霍爾電流，可以有效地增加膜基結(jié)合力。 hwkol W  
j 措勤县| 墨脱县| 永兴县| 绥德县| 哈尔滨市| 时尚| 和平区| 怀来县| 中西区| 博爱县| 景德镇市| 婺源县| 毕节市| 丹棱县| 嘉兴市| 永兴县| 萨嘎县| 太仆寺旗| 永丰县| 呼和浩特市| 邵阳县| 安图县| 樟树市| 洞头县| 突泉县| 崇州市| 凤台县| 香港| 大丰市| 铁岭县| 中西区| 图片| 镇赉县| 抚宁县| 巩留县| 成都市| 许昌县| 资阳市| 乡城县| 民乐县| 中方县|