Zemax軟件在取樣光柵對(duì)設(shè)計(jì)中的應(yīng)用摘要：光束取樣光柵 ( BSG) 是一種重要的用于光束取樣診斷的衍射光學(xué)元件。以2 塊取樣光柵代替單塊光柵作為初始光學(xué)結(jié)構(gòu), 運(yùn)用Zemax 光學(xué)設(shè)計(jì)軟件采用分步優(yōu)化的方法設(shè)計(jì)了具有消像差功能的光柵對(duì)結(jié)構(gòu), 此方法比采用Matlab 語(yǔ)言編程計(jì)算的方法消像差更快捷、更靈活, 同時(shí)可以驗(yàn)證程序計(jì)算結(jié)果的正確性。設(shè)計(jì)結(jié)果顯示: 再現(xiàn)的會(huì)聚光經(jīng)2 塊光柵衍射后在像平面上點(diǎn)列圖中的均方根半徑僅為0. 506 m, 單塊取樣光柵的均方根半徑則為7. 284 m, 說(shuō)明2 塊光柵能夠做到像差互相矯正, 其像質(zhì)明顯好于單塊取樣光柵。另外, 設(shè)計(jì)出的雙光柵光學(xué)系統(tǒng), 可進(jìn)行遠(yuǎn)場(chǎng)光斑質(zhì)量檢測(cè), 為激光束性能的在線診斷提供了行之有效的技術(shù)支持。 o <J6KTLv
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關(guān)鍵詞: 取樣光柵; 光學(xué)設(shè)計(jì); 分步優(yōu)化; 消像差
