菲索干涉儀器球面標(biāo)準(zhǔn)鏡參考文獻(xiàn)，很不錯的說。 ^fO9oPM|  
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摘 要：在高精度的光學(xué)元件面形檢測中,為了保證檢測的精度,必須對高精度菲索干涉儀的標(biāo)準(zhǔn)鏡的自重和溫度變形進行嚴(yán)格地控制。針對高精度菲索干涉儀標(biāo)準(zhǔn)鏡的精度要求, 設(shè)計了一種新的標(biāo)準(zhǔn)鏡裝卡結(jié)構(gòu)。采用有限元方法分析了標(biāo)準(zhǔn)鏡在膠接方式下的表面變形情況,參考面表面變形峰谷( PV)值僅為9. 6nm , 均方根( RMS) 值為2. 1nm。同時對不同環(huán)境溫度下參考面的變形進行了計算得出面形的峰谷值和均方根值。最后介紹球面標(biāo)準(zhǔn)具的裝配過程。 i9qIaG/  
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關(guān) 鍵 詞：應(yīng)用光學(xué)；菲索干涉儀；標(biāo)準(zhǔn)鏡；鏡面支承；有限元法

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看看需要做到什么尺度

路過看看怎么樣

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9.6nm，這么小，太厲害了

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