基于EMAX的Fizeau干涉儀模型 楊 鵬1, 2，伍 凡1，侯 溪1，吳高峰1( 1. 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所，成都 610209；2. 中國科學(xué)院研究生院，北京 100039 ) k4hk*
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摘要：Fizeau 干涉儀由于具有參考光與測試光共光程的優(yōu)點成為多數(shù)干涉儀采用的結(jié)構(gòu)形式，對于干涉儀的結(jié)構(gòu)及其影響因素在理論上已進行了較廣泛的研究。但如何對Fizeau 干涉儀進行仿真是干涉儀檢測所面臨的問題。本文首先簡要介紹Fizeau 干涉儀及相位解包裹的基本原理并利用Matlab 編寫了基于矩形域的解包裹程序。然后利用Zemax 光學(xué)設(shè)計軟件建立起Fizeau 干涉儀通用模型，利用四步相移法對干涉儀的面形檢測進行仿真并利用編寫的解包裹程序計算出待測面的面形。仿真面形檢測結(jié)果與真實情況一致表明Fizeau 干涉儀通用模型能較好的對實際干涉儀面形檢測進行仿真。
