一.激光干涉 Yo0%5 noz  
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1.原理 E:BEQ:(~L  
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  高頻的激光脈沖輸入下，依靠入射激光和反射激光的相位差來測(cè)量工件的瞬間位移變化，瞬間位移變化量的疊加可以描述工件輪廓的狀況。照射到工件表面光斑直徑保持為200微米左右，足夠大的參考光斑可以給干涉儀提供穩(wěn)定的參考信號(hào)。 oiAU}iK:  
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2.國內(nèi)外研究 6w{^S~rqo  
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國內(nèi)：四川大學(xué)激光應(yīng)用技術(shù)研究所, 周肇飛教授領(lǐng)導(dǎo)的課題組 。 wP3PI.g-g  
國外：美國的ZYGO ,WYKO 型的光干涉式輪廓儀, 英國NPL 的雙焦物鏡輪廓儀 。 Zrfp4SlZZ  
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3.干涉技術(shù)展望 M52kau  
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用于在線檢測(cè)的高分辨干涉測(cè)量設(shè)備由于要適應(yīng)直接放在精密機(jī)床上工作的較嚴(yán)酷條件, 又要調(diào)整快捷, 在靈敏度方面作了一定犧牲。不過, Ra 優(yōu)于0. 2nm 的分辨力對(duì)于超精密加工在線檢測(cè)已完全滿足要求并有一定儲(chǔ)備。如果確有更高的要求, 該領(lǐng)域尚有進(jìn)一步提高靈敏度的潛力, 基于同樣原理的實(shí)驗(yàn)室用輪廓儀已經(jīng)做到分辨力優(yōu)于0. 02nm。 cn ,zUG!-h  
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4.一些干涉技術(shù)實(shí)驗(yàn)結(jié)果 lv9Ss-c4  
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                  噪聲當(dāng)量 Ra＝0.08nm &*g5kh{  
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                重復(fù)性測(cè)試 2σ＝0.5nm }]sI?&xB  
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二、激光共焦 ;}IF'ANA  
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1.原理 g92M\5 x9  
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結(jié)合音叉與共焦原理而達(dá)到的一種非接觸的激光測(cè)量技術(shù)。 aA%$<ItH  
(1)從光源發(fā)出的激光光束透過一組以音叉上下快速振動(dòng)的物鏡而聚焦在目標(biāo)物表面。 'ntb.S)  
(2)反射光束離開目標(biāo)物表面回到傳感器，并且被一個(gè)半反射導(dǎo)向而收斂在光接受元件上的針孔。 q,d]i/T  
(3)當(dāng)激光光束聚焦于物體表面時(shí)，有一組傳感器決定音叉的正確位置，從而計(jì)算出目標(biāo)物表面的距離。 18w[T=7)  
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2.技術(shù)優(yōu)勢(shì) E=gD{1,?  
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適用范圍廣，不受目標(biāo)物表面顏色、光澤度和材料等情況的影響。 sAk~`(:4!  
響應(yīng)速度快，由音叉的振動(dòng)頻率決定其響應(yīng)速度。 qM@][]j:  
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3.國內(nèi)外相關(guān)研究 ,)V*xpp  
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國內(nèi)：西安交通大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院激光紅外應(yīng)用技術(shù)研究所，趙宏教授領(lǐng)導(dǎo)的課題組。 x[nv+n ,  
國外：日本的KEYENCE激光共焦位移計(jì)。 aGp <%d  
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4.應(yīng)用 U._ U!U  
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半導(dǎo)體器件在線裝配檢測(cè) aVuan&]*=  
)ACa0V>*p  
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三、激光三角法 pvy;L[c  
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1.原理 -j3 -H&  
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用一束激光以某一角度聚焦在被測(cè)物體表面，然后從另一角度對(duì)物體表面上的激光光斑進(jìn)行成像，物體表面激光照射點(diǎn)的位置高度不同，所接受散射或反射光線的角度也不同，用CCD光電探測(cè)器測(cè)出光斑像的位置，就可以計(jì)算出主光線的角度，從而計(jì)算出物體表面激光照射點(diǎn)的位置高度。當(dāng)物體沿激光線方向發(fā)生移動(dòng)時(shí)，測(cè)量結(jié)果就將發(fā)生改變，從而實(shí)現(xiàn)用激光測(cè)量物體的位移。 ~2@U85"o  
T'XAcH  
2.技術(shù)優(yōu)勢(shì) $';'MoS  
  用CCD圖像傳感器作接收光和光電轉(zhuǎn)化元件制成的位移傳感器具有高精度、高響應(yīng)頻率、高抗干擾性以及測(cè)量距離較大等優(yōu)點(diǎn)。 HAo8]?J
  
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