一.激光干涉 %y q}4[S+o  
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1.原理 Sy_M!`B  
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  高頻的激光脈沖輸入下，依靠入射激光和反射激光的相位差來(lái)測(cè)量工件的瞬間位移變化，瞬間位移變化量的疊加可以描述工件輪廓的狀況。照射到工件表面光斑直徑保持為200微米左右，足夠大的參考光斑可以給干涉儀提供穩(wěn)定的參考信號(hào)。 YS*t
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2.國(guó)內(nèi)外研究 'zaB5d~l  
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國(guó)內(nèi)：四川大學(xué)激光應(yīng)用技術(shù)研究所, 周肇飛教授領(lǐng)導(dǎo)的課題組 。 7o<RvM  
國(guó)外：美國(guó)的ZYGO ,WYKO 型的光干涉式輪廓儀, 英國(guó)NPL 的雙焦物鏡輪廓儀 。 C1J'. !  
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3.干涉技術(shù)展望 RjT[y: !  
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