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[論文]光學(xué)表面的光散射測量方法.PDF [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2012-08-28

關(guān)鍵詞：散射粗糙度

摘要：光學(xué)表面的光散射測量方法為目前測量光學(xué)元件表面散射特性的一種主要技術(shù)，主要包括角分辨測量法和總積分測量法。本文對上述兩種測量方法的基本原理和實(shí)驗(yàn)裝置進(jìn)行了系統(tǒng)的闡述，并對兩種方法進(jìn)行了比較分析.最后討論了散射測量方法發(fā)展的趨勢。


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