摘要：根據(jù)國際IS010110—7的表面缺陷標(biāo)準(zhǔn)及慣性約束聚變(ICF)工程標(biāo)準(zhǔn)，提出了一種新穎的光學(xué)元件表面缺陷的光學(xué)顯微散射成像及數(shù)字化評價(jià)系統(tǒng)，多束光纖冷光源呈環(huán)狀分布并以一定角度斜入射到數(shù)毫米視場的被檢表面，形成適合數(shù)字圖像二值化處理的暗背景上的亮疵病圖像。對x，Y兩方向進(jìn)行子孔徑圖像掃描成像，利用模板匹配原理對獲得的子孔徑圖像進(jìn)行拼接得到全孔徑表面疵病圖像信息。基于數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)建立了可用于大口徑表面檢測掃描的圖像處理的模式識別軟件體系，并應(yīng)用二元光學(xué)制作了標(biāo)準(zhǔn)對比板，以獲得疵病正確的評價(jià)依據(jù)。最終利用該變倍光學(xué)顯微鏡散射成像系統(tǒng)得到能分辨微米量級表面疵病的圖像，其單個(gè)子孔徑物方視場約為3 mm，對x，y兩方向進(jìn)行5×5子孔徑圖像掃描成像，并給出了與標(biāo)準(zhǔn)比對的定量數(shù)據(jù)結(jié)果。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，本系統(tǒng)完全可以實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面缺陷的數(shù)字化評價(jià)。 0f5 ag&
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關(guān)鍵詞：光學(xué)測量；表面疵病；顯微散射成像；形態(tài)學(xué)
