非球面透鏡的面性檢測(cè),現(xiàn)在用的比較多的是加零鏡,但是制造零鏡要求過(guò)高。而且很多都是非球面。
4V')FGB$ PC#^L$cg} 下面介紹的方法是將面型的檢測(cè)轉(zhuǎn)化為對(duì)波前誤差的檢測(cè),這樣就比較簡(jiǎn)單了;
E5bVCAz ){5Nod{}a 在非球面檢測(cè)中長(zhǎng)借助于632.8nm波長(zhǎng)的干涉儀進(jìn)行檢測(cè)。我們?cè)O(shè)計(jì)非球面透鏡大多不是以這個(gè)
波長(zhǎng)設(shè)計(jì)的,而且即使是在這個(gè)波長(zhǎng)設(shè)計(jì)的,單個(gè)非球面
成像的波相差也不一定就好(很多是
系統(tǒng)中的一部分),這樣的話我們需要想辦法讓這個(gè)非球面在632.8nm波長(zhǎng)下的波前誤差很好。這樣我們只要檢測(cè)透過(guò)鏡子的波前誤差來(lái)檢測(cè)非球面的好壞;有兩種方法:
q*l4h u%3 "%gsGtS 1.做
工藝球面:此方法只適合于有一個(gè)非球面的透鏡,首先將設(shè)計(jì)好的非球面輸入到
光學(xué)設(shè)計(jì)
軟件中固定不變,然后對(duì)透鏡另一個(gè)面(球面)進(jìn)行
優(yōu)化使該透鏡在632.8nm波長(zhǎng)下成像質(zhì)量,波相差最好,(這里設(shè)計(jì)的透鏡的厚度要比原設(shè)計(jì)稍厚,保證工藝球面不與原先的球面有交叉),該球面成為“工藝球面”,這樣首先加工出來(lái)這個(gè)工藝球面,然后加工非球面,使用632.8nm干涉儀直接檢測(cè),直至成像質(zhì)量(波前差)滿足要求,最后再將另一面加工成所要的球面,這樣整個(gè)透鏡就加工完畢。
&vpKBR^ `GCoi ?n7 2.加補(bǔ)償鏡:加補(bǔ)嘗鏡的方法比較簡(jiǎn)單,設(shè)和大批加工。該方法是設(shè)計(jì)一球面透鏡作為補(bǔ)償鏡,使該球面透鏡與非球面透鏡組合成一個(gè)系統(tǒng),該系統(tǒng)在632.8nm波長(zhǎng)下成像質(zhì)量非常好。檢測(cè)整個(gè)系統(tǒng)的成像質(zhì)量來(lái)推斷非球面的質(zhì)量。為保證非球面加工質(zhì)量,需要對(duì)球面透鏡提出要求要嚴(yán)格(球面鏡好加工)。
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