《國際信息工程先進技術(shù)譯叢:微光學和納米光學制造技術(shù)》詳細介紹了微光學和納米光學元件成功的、最新的制造工藝，重點強調(diào)了關(guān)鍵性的專業(yè)技巧，提供了最新的技術(shù)信息，內(nèi)容包括面浮雕衍射光學元件、微光學等離子體刻蝕加工技術(shù)、使用相位光柵掩模板的模擬光刻術(shù)、光學器件的電子束納米光刻制造技術(shù)、納米壓印光刻技術(shù)和器件應(yīng)用、平面光子晶體的設(shè)計和制造、三維（3D）光子晶體的制造——鎢成型法。 s.(.OXD&  
《國際信息工程先進技術(shù)譯叢:微光學和納米光學制造技術(shù)》參編作者都是微納米光學制造技術(shù)領(lǐng)域的專家，代表了當今微光學加工的領(lǐng)先水平。可供光電子領(lǐng)域從事光學儀器設(shè)計、光學設(shè)計和光機結(jié)構(gòu)設(shè)計（尤其是從事光學成像理論、微納米光學研究）的工程師使用，也可以作為大專院校相關(guān)專業(yè)本科生、研究生和教師的參考書。 Vc\
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目錄 -cUW,>E  
譯者序 mq{Z Q'  
前言 s=$xnc}mf  
第1章面浮雕衍射光學元件 E[hSL#0  
1.1制造方法 fe\'N4  
1.2周期和波長比 I N@ ~~  
1.3光柵形狀 \,v^v]|  
1.4深度優(yōu)化 QeY+i
mM  
1.5錯位失對準 52^3N>X4X  
1.6邊緣圓形化 ^uX"04>;  
1.7幾何形狀偏離引起形狀雙折射光柵相位響應(yīng)的變化 K*^'tltJ  
1.8表面紋理結(jié)構(gòu) Qc33CA  
1.9熔凝石英表面的紋理結(jié)構(gòu) W'Gh:73'}  
1.10太陽電池的表面紋理結(jié)構(gòu) @3eMvbI  
1.11 8階熔凝石英DOE樣片的制造方法 W}F~vx.  
1.12成形金屬基準層的制造工藝 [6@bsXiw  
1.13轉(zhuǎn)印成形和第一層掩模板的刻蝕 eDo4>k"5  
1.14轉(zhuǎn)印成形和第二層掩模板的刻蝕 *K>2B99TXu  
1.15轉(zhuǎn)印成形和第三層掩模板的刻蝕 F_u?.6e]  
致謝 bSM|"  
參考文獻
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第2章微光學等離子體刻蝕加工技術(shù) :~ 怀集县| 嘉兴市| 巩义市| 东光县| 北京市| 枞阳县| 寻甸| 宁津县| 界首市| 巴青县| 辉南县| 南部县| 卫辉市| 宜春市| 新兴县| 固原市| 托里县| 松滋市| 山东省| 荃湾区| 赤水市| 灵璧县| 增城市| 福建省| 淳安县| 佳木斯市| 法库县| 台安县| 湖口县| 浦江县| 锡林郭勒盟| 克拉玛依市| 涿州市| 曲水县| 翁源县| 澎湖县| 娱乐| 维西| 麻栗坡县| 大荔县| 武鸣县|