由于車燈鍍膜機(jī)原理的不同分為很多種類，僅僅因?yàn)槎夹枰?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=真空',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_1">真空度而擁有統(tǒng)一名稱。所以對于不同原理的真空鍍膜，影響均勻性的因素也不盡相同。 并且均勻性這個(gè)概念本身也會(huì)隨著鍍膜尺度和薄膜成分而有著不同的意義，下面分別說一下： `k\]I |6
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均勻性主要體現(xiàn)在3方面： N _pJE?
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1.厚度上的均勻性，也可以理解為粗糙度，在光學(xué)薄膜的尺度上看（也就是1/10波長作為單位，約為100A），真空鍍膜的均勻性已經(jīng)相當(dāng)好，可以輕松將粗糙度控制在可見光波長的1/10范圍內(nèi)，也就是說對于多弧離子鍍膜機(jī)的光學(xué)特性來說，真空鍍膜沒有任何障礙。 但是如果是指原子層尺度上的均勻度，也就是說要實(shí)現(xiàn)10A甚至1A的表面平整，是現(xiàn)在真空鍍膜中主要的技術(shù)含量與技術(shù)瓶頸所在。 ]CC~Eo-%-
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2.化學(xué)組分上的均勻性： 就是說在薄膜中，化合物的原子組分會(huì)由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，如果濺控濺射鍍膜機(jī)過程不科學(xué)，那么實(shí)際表面的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 w#P aN83+
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3.晶格有序度的均勻性： 這決定了薄膜是單晶，多晶，非晶，是真空鍍膜技術(shù)中的熱點(diǎn)問題。
