真空工藝進行前應清洗真空材料，從工件或系統(tǒng)材料表面清除污染物；車燈鍍膜機零部件的表面清洗處理也是很有必要的，因為由污染物所造成的氣體、蒸氣源不僅會使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度。而且由于污染物的存在，同時也會影響真空部件連接處的強度和密封性能。 j-"34  
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污染物可以定義為“任何一種無用的物質(zhì)或能量”，多弧離子鍍膜機根據(jù)污染物的物理狀態(tài)可分為固體、氣體及液體，它們以膜或散粒形式存在。就其化學特征來看，它可以處于離子態(tài)或共價態(tài)，可以是無機物或有機物。 9a+Y )?z  
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暴露在空氣中的表面最易受到污染，污染的來源有多種，最初的污染通常是表面本身形成過程中的一部分。吸附現(xiàn)象、化學反應、浸析和干燥過程、機械處理以及擴散和離析過程都使各種成分的表面污染物增加。比較常見的真空材料表面上的污染物具體有以下幾種類型。 +!ljq~%  
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1.油脂 :|ahu  
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加工、裝配、操作時沾染上的潤滑劑、切削液、真空油脂等； !wEe<],  
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2.水基類 noz1W ]  
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