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[求助]光馳機只有晶控請各位大俠幫忙解決個問題！ [復制鏈接]

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離線ken_jinyan1

技術員

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2012-11-12

關鍵詞：光馳機晶控電子槍

我公司新買臺光馳 GENER1300真空鍍膜機，只有晶控沒有配光控。問下各位這種配置最多能穩(wěn)定鍍多少層膜。

現(xiàn)在有個問題請教一下，電子槍擋板打開后，成膜速度過快，速度沖到設定值的140%，然后慢慢下降，經(jīng)過30秒左右后能穩(wěn)定在設定值左右。我懷疑是成膜速率的PID設定有問題，具體數(shù)為：請各位幫忙分析下


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