夏克哈特曼
傳感器是在經(jīng)典夏克哈特曼測(cè)量方法的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的波前測(cè)量?jī)x器。它與傳統(tǒng)的數(shù)字式干涉儀比較具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、沒有移動(dòng)部件、抗震動(dòng)能力強(qiáng)、對(duì)被測(cè)光的相干性沒有要求、使用時(shí)無(wú)需參考光、可實(shí)時(shí)記錄波前變化過(guò)程、并同時(shí)適用于連續(xù)光和脈沖光的測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)已廣泛地應(yīng)用在自適應(yīng)
光學(xué)系統(tǒng)的實(shí)時(shí)波前探測(cè)、
激光器光束質(zhì)量診斷、大口徑光學(xué)元件面型檢測(cè)以及記錄鏡面連續(xù)變化過(guò)程中。
EkjO4=~UC 4HkOg)a 
:[\}Hn= ;uDH&3W 優(yōu)點(diǎn)：
.rN 5A+By` ;t"#7\ 快速測(cè)量波前，對(duì)振動(dòng)不敏感
[",W TZ: 較大的動(dòng)態(tài)范圍，可用于直接測(cè)量某些非球面，特別適合
光學(xué)系統(tǒng)初期裝調(diào)
oryoGy=(yk 缺點(diǎn)：
^U:pv0Qz 空間分辨率依賴于微
透鏡陣列，遠(yuǎn)比干涉儀低
I.q nA 其特性強(qiáng)烈依賴于
軟件功能
QXgh[9w G 應(yīng)用
3{]i|
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