luffy17520:大機器有2中修正板，一種是基板左右的，每次做單腔來調整，還有就是基板擋板換成修正板，同理。 ^Lg
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大機器還有離子源修正板，這個比較簡單。 S{"6PXzb  
小機器為左右擋板，試驗原理也是單腔 3$kv%uf{  
波長長了就修掉一點，讓ibs多多轟擊即可 :hl}Zn~jt  
....... (2013-11-21 15:53)  UQji7K }