luffy17520:大機(jī)器有2中修正板，一種是基板左右的，每次做單腔來(lái)調(diào)整，還有就是基板擋板換成修正板，同理。
Jam&R j, 大機(jī)器還有離子源修正板，這個(gè)比較簡(jiǎn)單。
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