4D動態(tài)干涉儀
原理 1Imb"E 4D動態(tài)干涉儀采用偏振光干涉原理，將傳統(tǒng)相移干涉儀的時間域相移轉(zhuǎn)換為空間域相移，并采用其獨創(chuàng)的相位相關的
CCD技術，使得一個CCD幀頻內(nèi)就可實現(xiàn)全分辨的測量。其原理圖如下圖所示：
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6Qm .k $[ 光源發(fā)出的
激光經(jīng)過PBS后分成偏振態(tài)不同的兩束光, 其中S偏振光射向樣品表面, P偏振光射向參考鏡. 樣品光和參考光被各自表面反射重新相會后, 由于偏振方向不同并不能發(fā)生干涉. 這樣合在一起的光經(jīng)過
光學系統(tǒng)成像, 透過一塊掩模板（見下圖）進入CCD.
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_lk5 \bu K;f=l5 掩模板（定向微偏振片陣列）的單元
結(jié)構(gòu)與CCD的像元一一對應相關. 上述合在一起的不同偏振態(tài)的光透過掩模板的每個單元后會發(fā)生干涉, 并且在不同像元位置發(fā)生干涉的相位是不同的. 這樣, 任意一組相鄰的4個像元都發(fā)生了具有固定相位差的干涉. 對每一組像元進行相移干涉計算, 就可以獲得整個樣品表面的形貌數(shù)據(jù).由于像元的位相是周期變化的，則在計算時可以重復利用相鄰像元，從而實現(xiàn)全分辨的測量。
&-Z#+>=H( • 4D 動態(tài)干涉儀的優(yōu)點及其應用：
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