1 引言 8\<jyJ  
　　隨著光通信技術(shù)的迅速發(fā)展，MEMS光開關(guān)由于具有插入損耗和串話小、消光比高、穩(wěn)定性好、透明性和可擴(kuò)展性好、易于集成、偏振不靈敏等優(yōu)點(diǎn)，將成為核心光交換器件的主流。其靜電驅(qū)動(dòng)是目前廣泛研究的一種，常見的靜電驅(qū)動(dòng)方式有：梳狀電極、SDA（scratch drive actuator）、懸臂驅(qū)動(dòng)和扭臂驅(qū)動(dòng)等。懸臂和扭臂驅(qū)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電壓高 于前兩者，但結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工藝上容易實(shí)現(xiàn)。在選取其微反射鏡最佳工作狀態(tài)時(shí)，需要電壓、頻率，占空比連續(xù)可調(diào)的方波信號(hào)為激勵(lì)源。傳統(tǒng)的選取方法需要示波器、脈沖信號(hào)發(fā)生器，直流穩(wěn)壓源三臺(tái)儀器協(xié)調(diào)工作才能完成，并且存在諸多弊端，如：測(cè)量?jī)x器成本高、操作繁瑣、測(cè)試周期長(zhǎng)、測(cè)量精度低等。而在本文介紹的測(cè)量平臺(tái)中，通過(guò)高幅值利用單片機(jī)控制脈沖頻率的方法來(lái)選擇器件。與當(dāng)前同類方法相比，具有精度高、可靠性強(qiáng)、成本低、易操作等優(yōu)點(diǎn)。 [NnauItI  
　　2 光開關(guān)工作原理 KlK`;cr?  
　　圖1為2×2微機(jī)械光開關(guān)的結(jié)構(gòu)示意圖，可以采用體硅微機(jī)械加工的方法在（100）硅片上制作。微反射鏡和上電極連在一起，在沒有電壓輸入時(shí)，上電極的位置不動(dòng)，微反射鏡處在光通路上，從入射光纖發(fā)出的光被微反射鏡反射，改變方向后進(jìn)入到鏡面同一側(cè)的出射光纖中，這是開關(guān)的反射狀態(tài)。當(dāng)上電極和下電極之間有電壓輸入時(shí)，在靜電力的作用下，上電極帶動(dòng)微反射鏡移開光通路，入射光沿直線傳播進(jìn)入前方的出射光纖，這是開光的直通狀態(tài)。圖2為閾值電壓隨扭梁的厚度變化曲線，圖3為驅(qū)動(dòng)電壓與懸梁位移之間的關(guān)系曲線。 G ;?qWB,  
3 方案設(shè)計(jì)與分析 Bs`$ 逊克县| 翁牛特旗| 忻州市| 民勤县| 富宁县| 盘山县| 福州市| 元氏县| 临高县| 常山县| 绿春县| 洱源县| 崇州市| 喜德县| 余江县| 利辛县| 盐津县| 达拉特旗| 囊谦县| 南平市| 马山县| 拉萨市| 云安县| 长兴县| 绥德县| 同江市| 张家川| 秦安县| 尼木县| 台中市| 启东市| 钦州市| 嘉鱼县| 巴林左旗| 叙永县| 股票| 安乡县| 天祝| 天镇县| 衢州市| 南华县|