1 引言
X-F|&yE~< 隨著光通信技術(shù)的迅速發(fā)展，MEMS光開關(guān)由于具有插入損耗和串話小、消光比高、穩(wěn)定性好、透明性和可擴展性好、易于集成、偏振不靈敏等優(yōu)點，將成為核心光交換器件的主流。其靜電驅(qū)動是目前廣泛研究的一種，常見的靜電驅(qū)動方式有：梳狀電極、SDA（scratch drive actuator）、懸臂驅(qū)動和扭臂驅(qū)動等。懸臂和扭臂驅(qū)動的驅(qū)動電壓高 于前兩者，但
結(jié)構(gòu)簡單、工藝上容易實現(xiàn)。在選取其微反射鏡最佳工作狀態(tài)時，需要電壓、頻率，占空比連續(xù)可調(diào)的方波信號為激勵源。傳統(tǒng)的選取方法需要示波器、脈沖信號發(fā)生器，直流穩(wěn)壓源三臺儀器協(xié)調(diào)工作才能完成，并且存在諸多弊端，如：測量儀器成本高、操作繁瑣、測試周期長、測量精度低等。而在本文介紹的測量平臺中，通過高幅值利用單片機控制脈沖頻率的方法來選擇器件。與當(dāng)前同類方法相比，具有精度高、可靠性強、成本低、易操作等優(yōu)點。
0|0<[:(hc 2 光開關(guān)工作
原理 {+V1>6 圖1為2×2微機械光開關(guān)的結(jié)構(gòu)示意圖，可以采用體硅微機械加工的方法在（100）硅片上制作。微反射鏡和上電極連在一起，在沒有電壓輸入時，上電極的位置不動，微反射鏡處在光通路上，從入射
光纖發(fā)出的光被微反射鏡反射，改變方向后進入到鏡面同一側(cè)的出射光纖中，這是開關(guān)的反射狀態(tài)。當(dāng)上電極和下電極之間有電壓輸入時，在靜電力的作用下，上電極帶動微反射鏡移開光通路，入射光沿直線傳播進入前方的出射光纖，這是開光的直通狀態(tài)。圖2為閾值電壓隨扭梁的厚度變化
曲線，圖3為驅(qū)動電壓與懸梁位移之間的關(guān)系曲線。
wvAXt*R 3 方案設(shè)計與分析
K-$gTV 其工作原理是先由單片機產(chǎn)生頻率占空比可調(diào)的脈沖信號，但因最終信號的電壓幅值在40～70V，遠大于單片機的工作電壓（5V），故將單片機產(chǎn)生的信號先接光耦隔離，再輸出到后級的放大電路，然后根據(jù)放大電路的調(diào)整，輸出峰峰值可調(diào)的信號。由此可見
系統(tǒng)設(shè)計主要涉及三個關(guān)鍵部分：產(chǎn)生頻率和占空比可調(diào)的方波信號、信號放大以及最終信號幅值的測量。
^]He]FW':G 3.1方波信號源的設(shè)計
%ZF6%m0S 方波信號的產(chǎn)生電路主要由AT89C2051單片機、晶振電路、鍵盤
參數(shù)輸入和
LED狀態(tài)顯示等部分組成。單片機AT89C2051由
軟件控制，產(chǎn)生方波信號。軟件的設(shè)計是利用AT89C2051內(nèi)計數(shù)器/定時器T0和T1互相配合來控制方波的頻率和占空比的。AT89C2051使用12M晶振，所以單片機執(zhí)行一條指令的時間為1μs，這樣根據(jù)鍵盤輸入的頻率值f和占空比d， 得到周期時間常數(shù)Tt（T t=1/f）和正脈沖的時間長度T d(Td=Tt×d%)，分別送給計數(shù)器/定時器T0、T1。T0、T1同時開始計數(shù)，同時使輸出為高電平，因為Td≤T t， 故T1首先計滿溢出，執(zhí)行T1的中斷服務(wù)子程序，拉低輸出電平使輸出低電平，同時停止T1計數(shù)。在等待一段時間，待到T0計滿， 再調(diào)用執(zhí)行T0的中斷服務(wù)子程序， T0、T1重新裝載定時常數(shù)并開始計時，同時把輸出電平拉回高電平。由此完成一個周期的輸出。頻率和占空比的改變只需改變T0、T1的定時常數(shù)。輸出的波形如圖4。
c}nXMA^^ 3.2 信號放大部分
giy 4< 單片機輸出的方波信號高電平時只有5V左右，而輸出要達到40～70V，普通的三極管放大電路不能承受這么大的電壓。因此在設(shè)計中采用MOS管，而且MOS管有很好的開關(guān)性能，會使輸出波形很好。電路如圖5。
+LwE=unS 由LM317搭建的穩(wěn)壓電源（見圖6）提供40～ 70V的直流電壓Vcout。這個直流電壓輸出值可由圖中的滑動變阻器WR調(diào)整。Vcout通過上拉電阻加在 MOS管的漏級上，這樣當(dāng)MOS管工作在開關(guān)狀態(tài)時，從漏級的輸出的電壓就在0V和 Vcout之間變化，就由此產(chǎn)生幅值為V cout的方波信號。可見，只要單片機輸出的方波信號可控制MOS管的開關(guān)狀態(tài)，即可使輸出高幅值的方波信號與單片機由軟件設(shè)計輸出的方波同頻率同占空比。但是單片機輸出的信號大約在5V左右，若與后面加有高達40～70V電壓的MOS管直接相連，這樣當(dāng)MOS管后級短路輸出的高壓很容易被引入單片機內(nèi)，將單片機燒壞。因此必須采用措施避免這種危險的發(fā)生。在此設(shè)計中采用光耦使得后面輸出的高電壓與單片機工作時的5V低壓安全隔離開。
:*wnO;eN 3.3 終信號幅值的測量
Kt,EN bF 最后輸出的信號為方波信號，要想直接測量輸出的峰峰值很困難。但分析完電路不難發(fā)現(xiàn)當(dāng)MOS管截止時，MOS管的輸出 Vout與穩(wěn)壓源提供的Vcout 幾乎相等。由此可知可以通過測量穩(wěn)壓源輸出的V cout直流電壓，即可得MOS管輸出方波信號的峰峰值。
Qrt[MJ+# 在測量電壓值不是很精確的情況下，可直接把穩(wěn)壓源提供的Vcout經(jīng)電阻按比例分壓，分出的電壓通過A/D轉(zhuǎn)換器和單片機處理，所得的結(jié)果乘以比例系數(shù)，即可得 Vcout的實際電壓值。將這個值直接送顯示部分，則很直觀的顯示出方波峰峰值。在我們實際設(shè)計的儀器中，顯示的Vout測量值與空載時的輸出值誤差不超過±0.5V。證明在測量電壓值要求不是很精確的情況下，這種方案是方便可行的。
p]d3F^*i 3.4 主控平臺和顯示部分
R3]Ra&h6N) 從總體來看，產(chǎn)生信號的部分和最終信號幅值測量顯示部分是各自獨立分開的，由兩個AT89C2051分別完成形成一個簡單的分布式結(jié)構(gòu)。這樣的結(jié)構(gòu)提高了整個軟件部分的穩(wěn)定性。
LoHL}1BG- 主控平臺由第一個AT89C2051來完成，直接控制方波信號的產(chǎn)生，而且還包括方波信號的頻率、占空比的設(shè)置和顯示，提供友好的人機接口。
M1Jnn4w*d 對于輸出的信號，應(yīng)該給用戶盡量直觀的結(jié)果， 在主控平臺提供頻率和占空比顯示的同時，還應(yīng)使用戶直觀準(zhǔn)確地知道輸出信號幅值，這樣在用戶沒有第三方的測量儀器的情況下，對儀器操作非常方便和精確。這部分的工作就由第二個 AT89C2051和A/D轉(zhuǎn)換器AD0804配合完成。
,q
yp2 Y7 單片機核心部分源程序如下：
=sG9]a<I … …
D0?l$]aE //generate pulse signal
^O
cM)Z6h //period= the period of pulse signal
`I.Uw$,P //positive=the length of positive voltage
W/PZD ( timer0() interrupt 1 using 1 {
anj*a<C< unsigned int temp；
,B>Rc# out=1； //output VOH
+tz^ &( temp=65535-period；
X<4h"W6 TL0=temp； //set value for timer0
~=5
乌鲁木齐市|
青龙|
民县|
博野县|
阳高县|
图木舒克市|
伊金霍洛旗|
贞丰县|
青岛市|
通榆县|
乌兰浩特市|
乐昌市|
牡丹江市|
夏邑县|
阳江市|
右玉县|
马边|
庆云县|
弥勒县|
陆河县|
溆浦县|
安仁县|
重庆市|
扶绥县|
安乡县|
南通市|
宣化县|
鄱阳县|
石门县|
乌苏市|
宁乡县|
金坛市|
吉木乃县|
保亭|
奇台县|
都匀市|
兴国县|
扎兰屯市|
鹤庆县|
体育|
琼海市|
