老兄你這個(gè)問(wèn)題解決了嗎？ QE1DTU  
對(duì)于你這個(gè)問(wèn)題你主要提的外觀問(wèn)題，沒(méi)有膜層性能不良問(wèn)題。我觀點(diǎn)分析如下： ED[`Y.;  
1.如果是鍍mgf2時(shí)鐘罩的溫度不夠容易產(chǎn)生脫膜。 9q(*'rAm  
2.如果真空度不夠膜層容易出現(xiàn)膜強(qiáng)度弱，即擦拭就會(huì)造成劃痕。 -AWL :<  
3.如果是鍍膜硬件和鍍膜工藝問(wèn)題的話，首當(dāng)其沖的是性能不量. ,
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4.直接造成產(chǎn)品外觀不量的問(wèn)題主要還是玻璃片鍍膜前的潔凈度不夠，即有臟污殘留。此殘留一般是肉眼不容易檢查的殘留。且不影響鍍膜后產(chǎn)品的指標(biāo)和性能。 bVaydJ*  
5.如果是產(chǎn)品潔凈度問(wèn)題，外觀上一般產(chǎn)生局部性發(fā)霧，或同一爐產(chǎn)品有一部分輕微，一部分嚴(yán)重，也可以出現(xiàn)良品。如果是設(shè)備和 工藝問(wèn)題就會(huì)出現(xiàn)外觀不良狀態(tài)的均衡性。即不良的樣子都一樣，且全部都是，不分輕重。 B_$hi=?TTd  
希望能夠?qū)δ阌袔椭�，鍍膜和清洗工藝交流可以�?lián)系我：13620221452  QQ294955027

Al2O3的速率：3A/s kwF4I)6  
ZrO2的速率：3A/s ziPE(B  
MgF2的速率：6-8A/s Q4i@y6z  
烘烤溫度：300℃左右，從關(guān)門到鍍完MgF2，不要停 V/"P};n  
可以不用離子源， sTv;Ogs.  
可以不充氧氣

建議用LaTiO3和MgF2