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如何計(jì)算材料的折射率
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kevin980828
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樓主
發(fā)表于: 2005-09-03
在蒸鍍過程中材料的折射率怎樣能夠準(zhǔn)確算出,我知道折射率跟真空度.沉積速率.充氧量有關(guān),其它的還有嗎?那如何計(jì)算,如TiO2.SiO2.Os50.SiO.ZrO2等,請(qǐng)各位大俠指教.謝謝!!!
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flyinlove79
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1樓
發(fā)表于: 2005-09-04
蒸度鍍過程中適時(shí)手動(dòng)計(jì)算材料的折射率比較困難啊,個(gè)人認(rèn)為必須測準(zhǔn)適時(shí)的膜層厚度和反(透)射率,或者是在極值點(diǎn)處的反(透)射率,再利用公式進(jìn)行計(jì)算,但感覺不怎么實(shí)用。現(xiàn)在的鍍膜設(shè)備,已經(jīng)可以自動(dòng)計(jì)算并顯示出適時(shí)的折射率了。
cvn,&G-`
折射率還和基片溫度,沉積角度,膜層的微觀結(jié)構(gòu)有關(guān)。
*v8Cj(69
折射率測量一個(gè)是用橢偏儀直接測量,一個(gè)是用分光光度計(jì)測單層膜在奇數(shù)個(gè)極值厚度處的反(透)射率,再用公式計(jì)算的間接測量。
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wendzb
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2樓
發(fā)表于: 2006-01-05
能詳細(xì)說下單層膜在奇數(shù)個(gè)極值厚度處透射率用公式計(jì)算的間接測量的過程么??
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wangda
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3樓
發(fā)表于: 2006-04-06
就是就是,知道的,與大家分享一下啊
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tangzs
UID:19808
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4樓
發(fā)表于: 2006-05-05
鍍個(gè)較厚一點(diǎn)的單層膜,根據(jù)極值點(diǎn)(膜比基底折射率高的看極小值,膜比基底折射率低的看極大值,并且選取長波段的極值點(diǎn),因?yàn)樵陂L波段折射率色散小)估算出膜層的折射率,該點(diǎn)的反射率,根據(jù)薄膜光學(xué)原理,相當(dāng)于單個(gè)四分之一光學(xué)厚度的膜厚(單層四分之一光學(xué)厚度的薄膜等效折射率為n^2/ng,n為膜的折射率,ng為基底折射率)的反射率。算出折射率后,再判斷極值級(jí)次,根據(jù)這個(gè)級(jí)次就可算出膜厚。現(xiàn)在舉一例子加深理解。
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