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[求助]AR膜反射率不良時(shí)如何調(diào)整 [復(fù)制鏈接]

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離線wugujianwgj

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 10樓發(fā)表于: 2014-10-17

AR就用晶控控制看看唄。

離線ouyuu

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只看該作者 11樓發(fā)表于: 2014-10-21

回 leehow534 的帖子

leehow534:氣壓，膜厚，光量比值都沒(méi)問(wèn)題，很奇怪呀。 <;G.(CK@n
有些膜層同樣的膜厚10幾個(gè)NM，監(jiān)控玻璃有時(shí)候有極值有時(shí)候又沒(méi)有，何解？ DHQavHqbZ
大多數(shù)情況下沒(méi)有極值，根本看不出來(lái)規(guī)律來(lái) (2014-04-01 23:20) Xf(H_&K

薄層，特別是二氧化硅薄層，還是用晶控。
另外，看一下光控片有沒(méi)有問(wèn)題，高度是否一致，是否水平放置。
光控片換新的試試，裝之前擦一下。

離線teddy0586

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 12樓發(fā)表于: 2014-12-09

可以考慮換下靶的材料

離線yzhuang

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只看該作者 13樓發(fā)表于: 2015-04-04

如果是國(guó)內(nèi)的設(shè)備，還是晶控比較好，光控最好的還是萊寶

離線seven_117

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 14樓發(fā)表于: 2018-04-08

不懂，還在學(xué)習(xí)中

離線johnyu

技術(shù)員

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只看該作者 15樓發(fā)表于: 2018-09-05

薄層問(wèn)題

解決方法:

最簡(jiǎn)單就是用石英控控制薄層

或薄層的鍍率用慢點(diǎn)