[求助]AR膜反射率不良時如何調(diào)整 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2013-12-13

目前已知的是：
1.根據(jù)TFC演示，膜厚調(diào)整
2.如果蒸發(fā)速率過小，就把預(yù)熔功率加大些
沒有其他方法了嗎，各位親們？

同樣的條件連續(xù)鍍?yōu)槭裁疵看畏瓷渎蕡D形都不一樣咧？

[ 此帖被leehow534在2013-12-15 22:46重新編輯 ]

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離線fagbit

助理工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2013-12-14

問題不是很清楚，AR膜怎么扯到分光？

離線leehow534

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2013-12-14

就是反射率圖形老是變來變?nèi)?

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離線leehow534

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2013-12-14

就是調(diào)整反射率圖形規(guī)格內(nèi)

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離線jack0827

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2014-01-08

確認每次預(yù)融的一致性，還有相關(guān)的真空度。

離線李仁鋒

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2014-01-09

你是不是用的310，可能里面設(shè)置有問題QQ81398665

離線245136615

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2014-02-17

晶控？電子槍的功率，光斑的大小是不是變化了，沒有壓控的話，注意真空度是不是有變化

離線qxb2008

技術(shù)員

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2014-03-19

這就說明樓主你的鍍膜條件重復(fù)性很差啊，如果機臺系數(shù)沒弄錯的話。問題可以分兩種情況：一種是鍍膜機的重復(fù)性差，一種是膜系敏感層太多。鍍膜機的重復(fù)性差要考慮的因素就多了：真空度/溫度/充氧/蒸鍍速率/傘差/蒸發(fā)角度等；膜系的敏感層可以通過二次優(yōu)化進行調(diào)整。總之一個條件一個條件的去確認，總會找到問題的。
希望能幫到你。

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2020-07-25