[求助]AR膜反射率不良時(shí)如何調(diào)整 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2013-12-13

目前已知的是：
1.根據(jù)TFC演示，膜厚調(diào)整
2.如果蒸發(fā)速率過(guò)小，就把預(yù)熔功率加大些
沒有其他方法了嗎，各位親們？

同樣的條件連續(xù)鍍?yōu)槭裁疵看畏瓷渎蕡D形都不一樣咧？

[ 此帖被leehow534在2013-12-15 22:46重新編輯 ]

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離線fagbit

助理工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2013-12-14

問(wèn)題不是很清楚，AR膜怎么扯到分光？

離線leehow534

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2013-12-14

就是反射率圖形老是變來(lái)變?nèi)?

離線leehow534

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2013-12-14

就是調(diào)整反射率圖形規(guī)格內(nèi)

離線jack0827

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2014-01-08

確認(rèn)每次預(yù)融的一致性，還有相關(guān)的真空度。

離線李仁鋒

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2014-01-09

你是不是用的310，可能里面設(shè)置有問(wèn)題QQ81398665

離線245136615

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2014-02-17

晶控？電子槍的功率，光斑的大小是不是變化了，沒有壓控的話，注意真空度是不是有變化

離線qxb2008

技術(shù)員

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2014-03-19

這就說(shuō)明樓主你的鍍膜條件重復(fù)性很差啊，如果機(jī)臺(tái)系數(shù)沒弄錯(cuò)的話。問(wèn)題可以分兩種情況：一種是鍍膜機(jī)的重復(fù)性差，一種是膜系敏感層太多。鍍膜機(jī)的重復(fù)性差要考慮的因素就多了：真空度/溫度/充氧/蒸鍍速率/傘差/蒸發(fā)角度等；膜系的敏感層可以通過(guò)二次優(yōu)化進(jìn)行調(diào)整。總之一個(gè)條件一個(gè)條件的去確認(rèn)，總會(huì)找到問(wèn)題的。
希望能幫到你。

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2020-07-25

離線rollo_tomasi

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只看該作者 8樓發(fā)表于: 2014-03-31

真空鍍膜工藝的重復(fù)性受到很多因子的影響，需要控制很多的參數(shù)和工藝條件!

離線leehow534

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只看該作者 9樓發(fā)表于: 2014-04-01

氣壓，膜厚，光量比值都沒問(wèn)題，很奇怪呀。
有些膜層同樣的膜厚10幾個(gè)NM，監(jiān)控玻璃有時(shí)候有極值有時(shí)候又沒有，何解？
大多數(shù)情況下沒有極值，根本看不出來(lái)規(guī)律來(lái)