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發(fā)表于: 2014-01-23
一﹑晶振片的種類
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pL,XHR@Iv
晶振片的電極對(duì)膜厚監(jiān)控至關(guān)重要,目前,市場(chǎng)上提供三種
標(biāo)準(zhǔn)
電極
材料
:金、銀和合金。 金是最廣泛使用的傳統(tǒng)材料,它具有低接觸電阻,高化學(xué)溫定性,易于沉積。金最適合于低應(yīng)力材料,如金,銀,銅的膜厚控制。用鍍金晶振片監(jiān)控以上產(chǎn)品,即使頻率飄移1MHz,也沒有負(fù)作用。然而,金電極不易彎曲,會(huì)將應(yīng)力從膜層轉(zhuǎn)移到石英基片上。轉(zhuǎn)移的壓力會(huì)使晶振片跳頻和嚴(yán)重影響質(zhì)量和穩(wěn)定性。
RTh=x.
R:f!ywj%
銀是接近完美的電極材料,有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。然而,銀容易硫化,硫化后的銀接觸電阻高,降低晶振片上膜層的牢固性。
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