面形
精度：
光學(xué)表面幾何形狀的準(zhǔn)確程度
Nf-IDK 面形偏差：是
光學(xué)零件的被檢測(cè)光學(xué)表面與參考表面的偏差.
G!XizhE 參考表面可以是樣板,也可以是
干涉參考表面，或者其他有足夠精度的測(cè)量裝置。
!rTh+F* 光學(xué)零件的面形精度可以通過垂直位置觀察到的干涉條紋的數(shù)量、形狀、顏色及其變化來確定。
c Q*:U@ 國(guó)家
標(biāo)準(zhǔn)面形偏差包括三項(xiàng),標(biāo)注為N ,△1N, △2N
L) 8;96 Wf0ui1 @ 光學(xué)樣板檢驗(yàn)
原理：
o \b8lwA, 當(dāng)光學(xué)零件的被檢表面和樣板的工作表面（參考表面）相接觸時(shí)，由于兩者的面形不一致，產(chǎn)生一定的空氣隙，當(dāng)
波長(zhǎng)為λ的光射到空氣隙上，便形成等厚干涉條紋。從等厚干涉知道，相鄰兩亮條紋之間的空氣隙厚度差近似為λ/2，即通常所說的一個(gè)干涉條紋（
光圈）相當(dāng)于空氣隙厚度變化為λ/2。因此光圈數(shù)為N部位所對(duì)應(yīng)的空氣隙厚度變化為N* λ/2。
hd/5*C{s yZmQBh$ 一般是用樣板或
激光干涉儀，通過觀察到的干涉條紋進(jìn)行檢測(cè)，而光圈的度量包括以下三項(xiàng)面形誤差：
!x;T2l N———半徑偏差：被檢光學(xué)表面的曲率半徑相對(duì)于參考光學(xué)表面曲率半徑的偏差。這種偏差產(chǎn)生一定數(shù)量的光圈。
)"t =sFxaB △1N——象散偏差：被檢光學(xué)表面在相互垂直方向上的曲率半徑相對(duì)參考光學(xué)表面曲率半徑的偏差不相等。這種偏差體現(xiàn)在相互垂直方向上的干涉條紋數(shù)量不等。以兩個(gè)垂直方向上光圈數(shù)N的最大代數(shù)差的絕對(duì)值來度量
Z%(aBz 7Et △2N——局部偏差：被檢光學(xué)表面的局部區(qū)域相對(duì)于參考光學(xué)表面的偏差。這種偏差在任一方向上產(chǎn)生局部不規(guī)則的干涉條紋。以局部不規(guī)則干涉條紋對(duì)理想光滑干涉條紋的偏離量與相鄰條紋間距的比值來度量。
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