中科院理化技術研究所承擔的院儀器研制項目“納米光子學超細微加工系統(tǒng)”近日通過中科院綜合計劃局組織的專家驗收。現(xiàn)場加工測試結果表明，所研制的納米光子學超細微加工系統(tǒng)最小加工分辨率小于80納米，加工定位精度達到10納米，最大加工范圍達到560微米，具備了良好的三維加工能力。專家組認為，該項目按照項目合同的要求，全面完成了合同任務書規(guī)定的各項任務，技術指標先進。這種可同時具有納米尺度的加工分辨率和較大尺度范圍的激光加工系統(tǒng)尚未見報道，具有創(chuàng)新性。在加工速度、范圍及精度方面處于國際先進水平。 4j h4 神木县| 鹰潭市| 随州市| 永康市| 图片| 龙川县| 马山县| 通许县| 宣化县| 庄浪县| 宁陵县| 和田市| 辰溪县| 苏尼特左旗| 余庆县| 奉节县| 民权县| 疏附县| 麻阳| 青阳县| 长乐市| 肇庆市| 沁源县| 安西县| 宝坻区| 当雄县| 潮安县| 鹿邑县| 荣昌县| 新沂市| 余干县| 临洮县| 阿克苏市| 周宁县| 祁阳县| 望谟县| 绥阳县| 安丘市| 拜城县| 潜江市| 盐池县|