等離子體清洗設(shè)備的應(yīng)用
*t*yozN h05
~ g R%b,RH# 應(yīng)用領(lǐng)域: +F`!
Jt 1、清洗光學(xué)器件、電子元件、激光器件、鍍膜基片、芯片
L$Ss]Ar= • 清洗光學(xué)鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片
g*!2.P • 移除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件等表面的光阻物質(zhì)
LQR9S/?Ld • 清洗ATR元件、各種形狀的人工晶體、天然晶體和寶石
\1|T • 清洗半導(dǎo)體元件、印刷線路板
A$%%;O • 清洗生物芯片、微流控芯片
~ZL}j+L/ • 清洗沉積凝膠的基片
J *^|ojX {{giSW' 2、牙科領(lǐng)域:對硅酮壓模材料和鈦制牙移植物的預(yù)處理,增強(qiáng)其浸潤性和相容性
s8 3_Bd r@iGMJx$ 3、醫(yī)用領(lǐng)域:修復(fù)學(xué)上移植物的表面預(yù)處理,增強(qiáng)其浸潤性、粘附性和相容性,醫(yī)療器械的消 毒和殺菌
l-M~e] .F> cZ, 4、改善粘接光學(xué)元件、光纖、生物醫(yī)學(xué)材料、宇航材料等所用膠水的粘和力
N?R1;|Z] R$cg\DD 5、去除金屬材料表面的氧化物
P\w.:.2 iF<VbQP=X^ 6、使玻璃、塑料、陶瓷、高聚合物等材料表面活化,增強(qiáng)其表面粘附性、浸潤性、相容性
%tmK6cY4Y PcJ,Y\"[ 7、高分子材料表面修飾
C8aYg 8m-ryr) m"jqHGFV 一、金屬表面去油及清潔
5\qoZs*e \{abyi; 金屬表面常常會有油脂、油污等有機(jī)物及氧化層,在進(jìn)行濺射、油漆、粘合、健合、焊接、銅焊和PVD、CVD涂覆前,需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。 在這種情況下的等離子處理會產(chǎn)生以下效果:
aS62S9nwX &]uhPx/ 1.1灰化表面有機(jī)層
[@.%6aD -表面會受到化學(xué)轟擊
-l$]>J~ -在真空和瞬時(shí)高溫狀態(tài)下,污染物部分蒸發(fā)
Ugrcy7 -污染物在高能量離子的沖擊下被擊碎并被真空帶出
")cdY)14" -紫外輻射破壞污染物
b9`MUkGGd 因?yàn)榈入x子處理每秒只能穿透幾個(gè)納米的厚度,所以污染層不能太厚。指紋也適用。
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\6nWt6M 1.2氧化物去除
#;2Ju'e#z 金屬氧化物會與處理氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)
v#=- 這種處理要采用氫氣或者氫氣與氬氣的混合物。有時(shí)也采用兩步處理工藝。第一步先用氧氣氧化表面5分鐘,第二步用氫氣和氬氣的混合物去除氧化層。也可以同時(shí)用幾種氣體進(jìn)行處理。
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1.3焊接
zFwp$K>{QY 通常,印刷線路板在焊接前要用化學(xué)助焊劑處理。在焊接完成后這些化學(xué)物質(zhì)必須采用等離子方法去除,否則會帶來腐蝕等問題。
;^t<LhN: @P[Tu; 4 1.4鍵合
]\*g/QV 好的鍵合常常被電鍍、粘合、焊接操作時(shí)的殘留物削弱,這些殘留物能夠通過等離子方法有選擇地去除。同時(shí)氧化層對鍵合的質(zhì)量也是有害的,也需要進(jìn)行等離子清潔。
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{wMzsQ 二、等離子刻蝕
Hza{"I*^ =U3!D;XP 在等離子刻蝕過程中,通過處理氣體的作用,被刻蝕物會變成氣相(例如在使用氟氣對硅刻蝕時(shí))。處理氣體和基體物質(zhì)被真空泵抽出,表面連續(xù)被新鮮的處理氣體覆蓋。不希望被刻蝕部分要使用材料覆蓋起來(例如半導(dǎo)體行業(yè)用鉻做覆蓋材料)。
H@5:x8 等離子方法也用于刻蝕塑料表面,通過氧氣可以灰化填充混合物,同時(shí)得到分布分析情況。刻蝕方法在塑料印刷和粘合時(shí)作為預(yù)處理手段是十分重要的,如POM 、PPS和PTFE。等離子處理可以大大地增加粘合潤濕面積。
d-39G*;1 %w_h8 三、刻蝕和灰化
=f=MtH?0y nv@$'uQRp PTFE刻蝕
ZuILDevMD PTFE在未做處理的情況下不能印刷或粘合。眾所周知,使用活躍的堿性金屬可以增強(qiáng)粘合能力,但是這種方法不容易掌握,同時(shí)溶液是有毒的。使用等離子方法不僅僅保護(hù)環(huán)境,還能達(dá)到更好效果。
d];E99} 等離子結(jié)構(gòu)可以使表面最大化,同時(shí)在表面形成一個(gè)活性層,這樣塑料就能夠進(jìn)行粘合、印刷操作。
:+m|KC(Z EC&w9:R PTFE混合物的刻蝕
[2.pZB PTFE混合物的刻蝕必須十分仔細(xì)地進(jìn)行,以免填充物被過度暴露,從而削弱粘合力。
~kw[Aw3?D\ 'Pr(7^ 處理氣體可以是氧氣、氫氣和氬氣。可以應(yīng)用于PE、PTFE、TPE、POM、ABS和丙烯。
pA4oy A2$:p$[ 四、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清潔
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