工作壓強(qiáng)范圍（Pn-Pm）：泵能正常工作的壓強(qiáng)范圍
$/sZYsN~T 幾種常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍：
;$&5I9N 旋片機(jī)械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa 擴(kuò)散泵100-10-5pa 渦輪分子泵101-10-8pa 濺射離子泵100-10-10pa 低溫泵10-1-10-11pa
D
+%k1 幾種常用真空泵的工作原理
29E@e]Y,` l 旋片機(jī)械泵
Ih0> ]h-7 工作過程是： 吸氣—壓縮—排氣。
sA7K ;J}) 定子浸在油中起潤(rùn)滑，密封和堵塞縫隙的作用。
"I 1M$^8n 主要參量是： 抽速和極限壓強(qiáng)。
$ {H&Q* 由于極限壓強(qiáng)較高， 常用做前級(jí)泵(預(yù)抽泵)。
UyfIAC$S RwLdV+2\R` }qX&*DU_@ 旋片式機(jī)械泵
IpVwn
