工作壓強范圍（Pn-Pm）：泵能正常工作的壓強范圍 rFzj\%xa[  
幾種常用真空泵的工作壓強范圍： KN657 |f  
旋片機械泵105-10-2pa 吸附泵105-10-2pa  擴散泵100-10-5pa  渦輪分子泵101-10-8pa 濺射離子泵100-10-10pa 低溫泵10-1-10-11pa *P7/ry^<F  
  幾種常用真空泵的工作原理 !1i-"rR  
l        旋片機械泵 }i^|.VZZ  
工作過程是： 吸氣—壓縮—排氣。 +"BJjxG  
定子浸在油中起潤滑，密封和堵塞縫隙的作用。 8UgogNR\  
主要參量是： 抽速和極限壓強。 i.Y2]1  
由于極限壓強較高， 常用做前級泵(預(yù)抽泵)。 uo2k  
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旋片式機械泵 Lp(`m=;O  
l        油擴散泵 5XHejHn>  
工作過程是：油蒸發(fā)—噴射—凝結(jié)，重復(fù)循環(huán) +jwk4BU  
由于射流具有高流速(約200米/秒)、高密度、高分子量(300—500)，故能有效地帶走氣體分子。 82EvlmD  
擴散泵不能單獨使用，一般采用機械泵為前級泵，以滿足出口壓強(最大40Pa)，如果出口壓強高于規(guī)定值，抽氣作用就會停止。 J
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1. 水冷套； 2. 噴油嘴； 3. 導(dǎo)流管；4. 泵殼； 5. 加熱器 =<Sn&uL  
l        渦輪分子泵 =JfwHFHd#  
工作過程是：高速旋轉(zhuǎn)葉片(30000轉(zhuǎn)/分)—對氣體分子施以定向動量—壓縮—排氣。 h0k?(O  
優(yōu)點：無油，潔凈，啟動快，制動快，可忍受大氣沖擊。 V?G%-+^  
缺點：由于高速旋轉(zhuǎn)，不能在磁場中使用，否則會產(chǎn)生渦流，導(dǎo)致葉輪發(fā)熱、變形等嚴重后果，對氫氣等輕質(zhì)氣體抽速較小， 價格昂貴。 T"za|Fo  
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1. 動葉輪；2. 泵殼；3. 渦輪排；4. 中頻電動機；5. 底座； 资源县| 昭通市| 信宜市| 获嘉县| 九江县| 光山县| 陇西县| 莱阳市| 襄汾县| 利津县| 开江县| 南汇区| 齐齐哈尔市| 满城县| 姚安县| 抚远县| 郎溪县| 武乡县| 汤原县| 久治县| 东宁县| 双牌县| 芜湖市| 郁南县| 麦盖提县| 嘉兴市| 万州区| 望都县| 汝南县| 清河县| 汉中市| 岐山县| 凌源市| 成武县| 扶沟县| 瑞昌市| 城市| 海晏县| 赤壁市| 七台河市| 达州市|