從今天起,開始以應(yīng)用型案例為主,本例使用衍射光學(xué)工具箱來設(shè)計擴(kuò)散器實(shí)現(xiàn)線聚焦。通過規(guī)則型擴(kuò)散器的會話編輯設(shè)置窗口,設(shè)置光源,元件,評價函數(shù)等約束條件,選定一維。最后生成lpd及迭代傅里葉變換算法(IFTA)優(yōu)化窗口,運(yùn)行可得到DOE對應(yīng)的相位分布,由結(jié)構(gòu)生成可配置具體的介質(zhì),從而生成實(shí)體的表面輪廓。并導(dǎo)出為GDSII掩膜文件。 y
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