前邊已經介紹過一些diffuser,splitter和shaper的設計方法,在元件設計好并加工的時候會出現加工公差,因此如何模擬實際的二元光學元件(DOE),在本例中給出了模擬方法。 Eq>3|(UT
VirtualLab中有一種界面叫做組合界面(combined interface),可以將兩種(或多種)界面的輪廓數值疊加,即平面上每個坐標(x,y)對應的高度值H1(x,y)描述面1,H2(x,y)描述面2,則H1(x,y)+H2(x,y)即為新組合界面的輪廓H(x,y)。 2mVcT3
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因此H1(x,y)作為初始界面(如本例中的設計好的非球面),H2(x,y)作為加工公差。其中加工公差的數據導入需要注意導入過程中的采樣間距及單位(在導入界面中需選擇length)。 {3=\x
通過衍射評價函數這個探測器可以探測導入公差前后的一致性誤差,信噪比,窗口效率及轉換效率,加工公差導入之后,后兩個參數變化不大,但是一致性誤差變化非常大,信噪比也幾乎減小一倍。 N>z<v\`