用于玻璃和塑料基底上的增透膜 ,,J3 h  
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在眾多的光學系統(tǒng)中，一個相當重要的組成部分是鏡片上能降低反射的鍍膜。在很多應用領域中，增透膜是不可缺少的，否則，無法達到應用的要求。 yRznP
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就拿一個由18塊透鏡組成的35mm的自動變焦的照相機來說，假定每個玻璃和空氣的界面有4%的反射，沒有增透的鏡頭光透過率為27%，鍍有一層膜（剩余的反射為1.3%）的鏡頭光透過率為66%，鍍多層膜（剩余的反射為0.5%）的為85%。 ;1dz?'%V  
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在這篇文章中，列舉了一些簡單的增透膜和使用的材料。值得注意的是由于玻璃可以被高溫加熱，而塑料不能，因此，對玻璃和塑料必須選用不同的膜料和膜層設計。 J v#^GNm  
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用于玻璃基底的增透膜 VMWg:=~$  
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經典的單層增透膜由一薄層MgF2構成，MgF2在510nm時的折射率為n=1.38，需要的膜厚為d=92nm。因此，在510nm波長時膜層有一個光學密度（厚度）n*d為1/4的波長。鍍在加熱到250-300°C的玻璃基底上的MgF2，不但牢固，穩(wěn)定，并且相當方便，經濟，直接使用蒸發(fā)船便可。 LnDj   
想得到更低的反射率，最簡單的方法是鍍一層CeF3和一層MgF2（各為1/4的光學厚度），可用蒸發(fā)船。圖1是單層和2層膜的反射曲線。2層膜的優(yōu)點是在可見光范圍的中段有更低的反射率，缺點在于在紅，藍端的反射率上升過快。 sfV.X:ev  
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由于2層膜的效果不理想，為了達到理想的效果，必須使用3層或多層膜。 $imx-H`|  
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經典的3層膜由一層1/4光學厚度的中折射率物質（1.6-1.7)，一層1/2光學厚度的高折射率物質 >S!DIL  
(2.0-2.2)和一層1/4光學厚度的低折射率物質組成。最常用的是Al2O3，ZrO2和MgF2。圖1顯示 .ndQ(B  
在整個光學敏感段（410-680nm）的反射率低于0.5%。 5\S7Va;W  
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3層增透膜的膜料選擇 f*],j  
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膜料對膜層效果有決定性的影響。除了理想的折射率，每次鍍膜時穩(wěn)定的折射率，均勻的膜層，低吸收性，牢固性，穩(wěn)定性也非常重要。 b8>9mKs  
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MgF2是最常用的第三層低折射率物質。但是，由于塑料不能被高溫加熱，用MgF2會使膜層變軟和不穩(wěn)定，此時，SiO2是最佳的選擇。 3~Ln:4[6ID  
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Al2O3是最常用的第一層中折射率物質。它的膜層從紅外到紫外線有相當高的透過率，十分牢固，穩(wěn)定，并且每次鍍膜時有穩(wěn)定的折射率。 qJA.+q.e$e  
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ZrO2通常被用作第二層高折射率物質。它的優(yōu)點是從250到7000nm有寬廣的透過率，并且，膜層牢固，穩(wěn)定。但是，每次鍍膜時呈現(xiàn)不同的折射率，也就是折射率會隨著膜厚的增加而降低，這種現(xiàn)象可能和它的特殊晶體結構有關。圖2顯示了在五個單獨的膜層中ZrO2不同的折射率。我們可以看到和和同次性的膜料相比，折射率有急劇的上升，特別是在中段。ZrO2的另一個缺點是在蒸發(fā)是它只是部分的溶解，因此，很難得到均勻的膜厚。 !cb#fl  
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為了減少單體氧化物的這些缺點，可以使用混合氧化物。這些混合料可以根據客戶不同的折射率需要來生產。   1 =<|h  
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德國默克公司根據客戶大量的實際使用情況和多年的膜料生產經驗，研制開發(fā)了一系列的混合料： ^WD$ gd  
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H1，  高折射率，  2.1-2.15 d*$<%J  
H2，  高折射率，  2.1-2.15 %B*dj9n^q  
H4，  高折射率，  2.1-2.15 =LxmzQO#  
M1，  中折射率，  1.65-1.7 uw=Ube(  
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H1,H2和H4可以被用來生產高折射率的膜層，在250°C的基底上2.1-2.15的折射率具有同次性。M1可 $0}bi:7  
以被用來生產中折射率得膜層。H1,H4和M1也能鍍在未經加熱的基底上，折射率會降低。   n
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H1在從可見光到紫外的波段內有相當高的透過率，在360nm左右有吸收。但是，同ZrO2一樣，無法從溶解的狀態(tài)下被蒸發(fā)，因此較難得到比較均勻的膜層。   9/Dt:R3QU  
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H2在可見光的波段內有很高的透過率，但是在380nm時有截止吸收，這意味著當鍍膜條件不理想時，1/2光學厚度的末曾在400nm時會有0.5%的吸收。H2的優(yōu)點在于它能從溶解的狀態(tài)下被蒸發(fā)，因此有良好的同次性和均勻的膜厚。   5V~p@vCx  
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H4在可見光的波段內有很高的透過率，像H1一樣，在360n左右有吸收。它也能從溶解的狀態(tài)下被蒸發(fā)，具有良好的同次性和均勻的膜厚。 ok[=1gA#h  
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圖3顯示了用ZrO2(n=2.05)和上述混合料(n=2.15)的3層增透膜的反射曲線得比較。從中可以看出用混合料的有較好的反射曲線。用ZrO2有交寬廣的曲線，但使用混合料在450和590nm時有幾乎為零的反射率。 suFOc  
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