大尺寸元件的電場(chǎng)分布基本是均勻的，考慮衍射效應(yīng)時(shí)也比較容易計(jì)算出光場(chǎng)（如電場(chǎng)Ex）分布。對(duì)于一般光學(xué)系統(tǒng)我們通常只關(guān)心我們接收面上的場(chǎng)分布。然而對(duì)于亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)光柵，內(nèi)部場(chǎng)分布則相對(duì)復(fù)雜，并且Ex和Ey的場(chǎng)分布也不再是簡(jiǎn)單的一致，而是對(duì)于特定偏振的入射光，光柵內(nèi)部的Ex和Ey則會(huì)有各自的特性。這也正是亞波長(zhǎng)光柵結(jié)構(gòu)需要使用的矢量衍射效應(yīng)分析所帶來(lái)的結(jié)果。并且不同方向的電場(chǎng)分布對(duì)于偏振特性的分析具有重要的參考意義。因而亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)光柵中，內(nèi)部場(chǎng)的分析就比較重要。 l9{. ~]V
在VIrtualLab中，光柵工具箱中不僅提供了近場(chǎng)分析，光柵效率分析，偏振分析等引擎，還提供了光柵內(nèi)部場(chǎng)分析引擎。從而對(duì)于構(gòu)建好的光柵結(jié)構(gòu)，可以方便計(jì)算并觀察襯底，棧結(jié)構(gòu)，一個(gè)周期或者多個(gè)周期或者整個(gè)光柵元件的內(nèi)部場(chǎng)分布。 N8 m3 Wy
