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[求助]PMMA基板上鍍膜，出現(xiàn)膜裂和脫膜，求大神指點(diǎn)！ [復(fù)制鏈接]

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現(xiàn)在在PMMA基板上鍍AR膜，使用Leybold真空鍍膜機(jī)，電子槍蒸發(fā)方式，選用Ta2O5和SiO2作為鍍膜材料；會(huì)出現(xiàn)膜裂和脫膜現(xiàn)象，使用3M膠帶拉，膜層幾乎全部脫落；鍍膜前基板未經(jīng)清洗處理，在真空室中加熱到50℃，然后停止加熱，開始鍍膜，鍍膜整個(gè)過程中溫度未超過50℃。
求大神指點(diǎn)，如何改善工藝才能解決膜裂和脫膜的問題，非常感謝！


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