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[求助]ZnS和Ag之間掉膜怎么解決 [復制鏈接]

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離線348068034

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2015-08-17

ZnS和Ag之間掉膜，試了幾爐，調節(jié)不同的離子源輔助參數(shù)。就是沒有加熱。都不能解決。這兩個材料必須得加熱嗎，我網上查了，說ZnS建議在高溫下鍍膜比較牢固，但是Ag建議低的基板溫度。求助各位大神有什么良策解決這個掉膜問題

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離線yzhuang

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2015-08-19

Ag膜如果加溫會發(fā)霧，反射率下降明顯，我鍍銀的溫度一般控制在50度以下，另外，AG與AL2O3結合較好，如果要加鍍其他介質膜，一般在銀與其他膜之間加AL2O3會更牢