[求助]請教一個減反射薄膜設(shè)計 [復制鏈接]

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離線hhp409

實習生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2015-10-09

已知基板為硅片折射率為3.85，從基板到外界空氣依次為：5nm厚的二氧化硅層、2層不同折射率和厚度的氮化硅薄膜、空氣，第一層氮化硅，其厚度為d1（具體數(shù)值待定），折射率為n3（折射率在2.0-2.5之間可調(diào)，可取其任意值，具體數(shù)值待定），第二層氮化硅，其厚度為d2（具體數(shù)值待定），折射率為n4（折射率在2.0-2.5之間可調(diào)，可取其任意值，具體數(shù)值待定），且d1+d2=75nm，要求在300-1100nm的整個太陽光譜反射率最低，請問：n3、n4、d1和d2值是多少才能達到最佳？謝謝！

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離線huangweipeng

實習生

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2018-05-02

好復雜，看不懂，等大神

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實習生

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2019-04-29

這幾層都是基板嗎，如果是這樣的話，要先對基板做一個橢偏儀分析，確認基板上幾層膜的具體厚度和折射率之后，在做膜設(shè)計。

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