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光學(xué)玻璃光學(xué)均勻性高精度測量技術(shù)
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樓主
發(fā)表于: 2006-09-26
郭培基,余景池,丁澤釗,孫俠菲(蘇州大學(xué) 現(xiàn)代光學(xué)技術(shù)研究所,江蘇 蘇州 215006)摘自《光學(xué)技術(shù)》
9&^5!R8
摘要
:高質(zhì)量的透射光學(xué)系統(tǒng)對光學(xué)材料的光學(xué)均勻性要求非常高,材料局部折射率10-6量級的變化就可能破壞整個系統(tǒng)的性能。詳細介紹了三種用于測量光學(xué)玻璃光學(xué)均勻性的干涉法,研制了一臺高精度光學(xué)玻璃材料光學(xué)均勻性測量儀。實驗結(jié)果表明:40mm左右厚的光學(xué)玻璃材料的光學(xué)均勻性檢測精度可達1×10-6。
:f7!?^;y>
關(guān)鍵詞
:環(huán)行浮動拋光技術(shù);工藝實驗;透射波前;反射波前
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