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比如sio2 材料 n一般是1.45 A kq2 d;
然后3個(gè)光學(xué)厚度的話是 180nm 現(xiàn)在電腦里面模擬下3個(gè)光學(xué)厚度下的波形，然后鍍180nm厚度的sio2 這個(gè)是電腦輸入的值 )* u8/U
然后測(cè)試結(jié)果 d-oMQGOklb
sio2 測(cè)試反射比較明顯，測(cè)試出來(lái)的曲線可以用來(lái)做2件事 \;,_S+Fz8
1.通過(guò)測(cè)試波形 用其他軟件 可計(jì)算你現(xiàn)在鍍膜環(huán)境下的n值，如果偏差不大 可忽略啊 然后只有3個(gè)點(diǎn)的n值 算過(guò)好多機(jī)器和環(huán)境下的sio2的折射率 感覺都差不多 影響不大。 pIc#L>{E
2.用 模擬結(jié)果的特征峰 跟 測(cè)試結(jié)果的特征峰 相除可得到tooling值，這個(gè)也是粗略的值 但是用下來(lái)還是比較方便簡(jiǎn)單的 tR# Ojk vX
可多次重復(fù) 得到一個(gè)比較可靠的值 2R[:]-b
其實(shí)鍍膜上有好多參數(shù)可做tooling值 鍍膜時(shí)間 鍍膜面積 等，本人還是喜歡測(cè)試波形與模擬的波形的比值來(lái)表示。 &) QX7*H
Kew@&j~
當(dāng)然也可用tfc macleod來(lái)計(jì)算折射率，都是比較簡(jiǎn)單的，但是算法不一樣，計(jì)算結(jié)果還是有點(diǎn)偏差的，macleod的會(huì)比較好點(diǎn)，會(huì)自動(dòng)修正測(cè)試結(jié)果。
