大口徑高精度斐索干涉儀球面參考鏡設(shè)計(jì).PDF，需要的下載！ sUP!'Av  
KZxA\,Y'5  
摘要：設(shè)計(jì)了一款口徑為30.48cm高精度斐索激光干涉儀參考鏡， 其犉數(shù)為0.82， 參考面半徑為224.99mm。所設(shè)計(jì)的參考鏡其透射波前峰谷值為0.095λ， 均方根值為0.028λ， 透射波前斜率最大值為11μrad 。理論分析了參考鏡的回程誤差對(duì)面形檢測精度的影響， 其最大值為0.29nm。 利用Zemax光學(xué)設(shè)計(jì)軟件對(duì)參考鏡進(jìn)行了仿真分析， 仿真與實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明， 該標(biāo)準(zhǔn)鏡頭可滿足精度1nm的元件面形檢測需求。

學(xué)習(xí)學(xué)習(xí)

謝謝提供，學(xué)習(xí)一下

感謝分享

感謝分享，學(xué)習(xí)一下

很好學(xué)習(xí)一下

學(xué)習(xí)一下 謝謝 U30)r+
&  

受教了，好好學(xué)習(xí)

優(yōu)秀資料，加分！

good good