根據(jù)國際ISO10110-7 的表面缺陷標(biāo)準(zhǔn)及慣性約束聚變(ICF)工程標(biāo)準(zhǔn), 提出了一種新穎的光學(xué)元件表面缺陷的光學(xué)顯微散射成像及數(shù)字化評價(jià)系統(tǒng), 多束光纖冷光源呈環(huán)狀分布并以一定角度斜入射到數(shù)毫米視場的被檢表面, 形成適合數(shù)字圖像二值化處理的暗背景上的亮疵病圖像。對X , Y 兩方向進(jìn)行子孔徑圖像掃描成像, 利用模板匹配原理對獲得的子孔徑圖像進(jìn)行拼接得到全孔徑表面疵病圖像信息。基于數(shù)學(xué)形態(tài)學(xué)建立了可用于大口徑表面檢測掃描的圖像處理的模式識(shí)別軟件體系, 并應(yīng)用二元光學(xué)制作了標(biāo)準(zhǔn)對比板, 以獲得疵病正確的評價(jià)依據(jù)。最終利用該變倍光學(xué)顯微鏡散射成像系統(tǒng)得到能分辨微米量級(jí)表面疵病的圖像, 其單個(gè)子孔徑物方視場約為3 mm , 對X ,Y 兩方向進(jìn)行5×5 子孔徑圖像掃描成像, 并給出了與標(biāo)準(zhǔn)比對的定量數(shù)據(jù)結(jié)果。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明, 本系統(tǒng)完全可以實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面缺陷的數(shù)字化評價(jià)。  贵南县| 铜陵市| 广汉市| 五指山市| 泽州县| 镇远县| 阿鲁科尔沁旗| 华容县| 兰坪| 德江县| 巴林左旗| 阳曲县| 漠河县| 桃江县| 房产| 迭部县| 滨州市| 南平市| 博乐市| 抚宁县| 马鞍山市| 千阳县| 获嘉县| 泸水县| 安西县| 绥化市| 兰考县| 日照市| 沂南县| 岢岚县| 青海省| 天镇县| 鹤庆县| 营口市| 仲巴县| 长海县| 阳城县| 苍溪县| 江达县| 将乐县| 宜良县|