最近鍍AR表層的MGF2 從日光燈觀察發(fā)現(xiàn)有水滴狀的色斑在玻璃表面 K+mtuB]yr  
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若無鍍MGF2則無此現(xiàn)象，推估為MGF2造成 UwQ3q  
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不知道是為什麼，且放一段時間會消失(約3~7天)，有人有預(yù)過這種情況嗎?? 49Ue2=PP#  
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希望有人可以告訴我，或者提供意見交流 zFuUv_t  
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P.S. |/lIasI  
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AR與MGF2皆為EB製程 U w`LWG3T  
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膜層結(jié)構(gòu)為 G / L / H / L / H / L / M <Cmsn
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起鍍真空為5E-4pa

從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時候羅茨泵和機械泵接著抽2分鐘實驗一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實驗一下

氟化鎂形成的膜層結(jié)構(gòu)是易吸附水分子的，舉例說當最外層氟化鎂少時，用純水 超洗可以把分光變OK,把你的加工條件濕度看下，

yangyangyang:從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時候羅茨泵和機械泵接著抽2分鐘實驗一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實驗一下 (2016-05-05 22:58)  ;NeP&)Td  

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我用的材料為石英 zYdtQ
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您說的沒錯 jPNfLwVkl:  
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最外層材料換成SiO2此問題就無此現(xiàn)象 }GDG$QI]K&  
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已經(jīng)確認放氣時間拉長無法改善此問題

yangyangyang:從你發(fā)的來看，應(yīng)該問題是出在放氣階段產(chǎn)生的，你可以嘗試在放氣的時候羅茨泵和機械泵接著抽2分鐘實驗一下，我以前就是這么干的。我之前的產(chǎn)品基底是玻璃。你也可以嘗試把材料替換為二氧化硅，優(yōu)化一下膜系實驗一下 (2016-05-05 22:58)  RmWfV  

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我用的材料為石英 ^jha:d  
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您說的沒錯 lIVxW+  
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最外層材料換成SiO2此問題就無此現(xiàn)象 x 依安县| 合肥市| 星座| 丹寨县| 长治县| 绥中县| 岳西县| 茌平县| 高碑店市| 米林县| 济南市| 宁波市| 常熟市| 额敏县| 中阳县| 呼和浩特市| 云浮市| 浑源县| 工布江达县| 霍城县| 定南县| 长汀县| 得荣县| 东海县| 惠安县| 孟津县| 德保县| 浮梁县| 望城县| 莱州市| 景东| 江安县| 东乡族自治县| 铁岭市| 清流县| 安化县| 长治市| 金秀| 遵化市| 田阳县| 浦江县|