日本東曹公司通過向透明導(dǎo)電薄膜用的氧化鋅摻雜鋁，開發(fā)出"ZAO"靶材，并已開始供應(yīng)樣品。該材料有望替代ITO（氧化銦錫）靶材，用于液晶顯示器TFT（薄膜晶體管）的像素電極、TN（扭曲向列）液晶和太陽能電池。已制成可用于TFT的膜厚為100nm、電阻率為10－4Ωcm的ZAO透明導(dǎo)電薄膜。 <d~P
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該公司在80年代后期就開發(fā)了摻雜鋁的氧化鋅靶材，并獲取專利。但是，由于不能獲得低于ITO的電阻率，且當(dāng)時銦的供應(yīng)比較充足，因此該技術(shù)一直沒有實際應(yīng)用。直到2003年以后，銦價上漲，市場迫切需要ITO替代材料，才促使該公司對原來的技術(shù)進行改進，開發(fā)出ZAO靶材。該技術(shù)可提供不用更換現(xiàn)有LCD生產(chǎn)線設(shè)備就能使用的材料。 2%"2~d7  
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ZAO靶材的制造方法是將氧化鋅粉末和鋁粉末混合，然后進行成型、燒結(jié)、加工、粘結(jié)。除原料外其他工藝與制造ITO靶材相同。靶材尺寸也與ITO相同。 p_S8m|% 溧水县| 襄汾县| 永靖县| 昔阳县| 广河县| 白朗县| 安阳市| 花垣县| 威远县| 东兰县| 积石山| 南溪县| 广安市| 齐河县| 军事| 图片| 宁都县| 宁武县| 翼城县| 璧山县| 二连浩特市| 习水县| 年辖：市辖区| 兴化市| 策勒县| 莆田市| 保亭| 瑞安市| 莱西市| 高台县| 榆树市| 安图县| 西昌市| 蛟河市| 吉林省| 仪征市| 武鸣县| 富锦市| 友谊县| 济源市| 涞水县|