寬波段要求達(dá)到0.5%以下剩余反射其實(shí)要求算是較高的，膜系設(shè)計(jì)有一定的難度，主要是誤差的影響會(huì)很大，對(duì)機(jī)臺(tái)的要求會(huì)更嚴(yán)格，從設(shè)計(jì)上，從工藝上如何降低誤差的影響是關(guān)鍵。

說的太高省

先做厚一點(diǎn)的單層（越厚越好），測分光曲線。 q&s3wDl/  
然后用麥克勞德或者TFC算折射率。 e:fy#,HEj{  
算出來的折射率再用來做設(shè)計(jì)。 2@'oe7E  
然后自己再根據(jù)實(shí)際曲線慢慢修。 BTGvN%  
de.&`lPRf  
我以前做的380～800 反射率不超過0.3%。 WA)yfo0A  
設(shè)計(jì)是8層TiO2/SiO2,是一個(gè)W型的曲線。 m0
ER@BXRn  
我的經(jīng)驗(yàn)是TIO2折射率越高開口越寬，越好做。 ($au
:'kU  
但是折射率高的話，就需要用到好的離子源。 JEXy%hl  
光馳機(jī)或者新柯隆機(jī)應(yīng)該能做出來。 +b0eE)  

用麥克勞德算了一下，用TiO2,SiO2,最后一層用Mgf2 Cn'(<bl  
400~1000 全部在0.5%以下，12層可以實(shí)現(xiàn)。 t3
*wjQ3  
這個(gè)還是用軟件算的，人工調(diào)整的話我覺得10層以內(nèi)應(yīng)該可以做到。