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該案例介紹了一個(gè)正弦光柵的仿真,該光柵表面具有隨機(jī)變化的粗糙度結(jié)構(gòu)。此外,分析了對(duì)衍射級(jí)次的影響,特別是衍射效率。 ,}42]%$G &@xeWB 1. 建模任務(wù) SjOIln zn{[]J
fYv{M; 一個(gè)正弦光柵不同衍射級(jí)次的嚴(yán)格分析和優(yōu)化。 /T2f~1R 對(duì)于該仿真,采用傅里葉模態(tài)法。 pDx}~IB
/-)|dP 2. 建模任務(wù):正弦光柵 kOuQR$9s
cYEe`?* x-z方向(截面視圖) 6<A3H$3b 6Bm2_B 6hm6h7$F1 光柵參數(shù): KbV%8nx!! 周期:0.908um /waZ9 高度:1.15um ui6B (這些參數(shù)提供了一個(gè)具有均勻分布傳輸效率0級(jí)和±1級(jí)衍射級(jí)次,詳見案例341) Ycx$CUC IsCJdgG 3. 建模任務(wù) P1l@K2r ETVT.R8
P%Ux-0& Uyyw'Ni 5Gsj; VirtualLab光柵工具箱提供的光柵級(jí)次分析器,可對(duì)光柵衍射效率進(jìn)行嚴(yán)格的計(jì)算。 rJm%qSZz Wh>Y_ k 利用該分析器,也可以分別計(jì)算出現(xiàn)的每個(gè)衍射級(jí)次的衍射效率。 p{Gg,.f!HM Rx=pk
W\<5'9LNb N6<23kYM 4. 光滑結(jié)構(gòu)的分析 D r
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