外差干涉儀光路調(diào)節(jié)方法及對(duì)拍頻的理解 cTTW06^
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摘要：外差激光干涉儀由于測(cè)量精度高,環(huán)境適應(yīng)能力強(qiáng)和實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)高速測(cè)量等特點(diǎn)而廣泛應(yīng)用于機(jī)床誤差的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)中。外差激光干涉儀中,使用平面鏡作為轉(zhuǎn)向裝置時(shí),接收器上的兩束光有可能只是相交而不是重合,這給光路的調(diào)節(jié)增加了很大的難度。針對(duì)這一問(wèn)題,提出一種輔助光路調(diào)節(jié)方法,先將光路切換到單頻干涉儀,調(diào)好光路,再切換到外差干涉儀,利用單頻干涉條紋的直觀性能可看出外差干涉儀光路調(diào)節(jié)的好壞。理論分析和實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,提出的調(diào)節(jié)方案具有可行性,效果良好,同時(shí)通過(guò)從單頻切換到雙頻能更深入地理解拍頻。
