摘要：提出了一種離子束刻蝕制備線性漸變濾光片（LOVF） 的方法。離子束刻蝕過程中， 通過在樣片和離子束出射窗口之間加入開有三角形透射窗口的擋板以及樣片水平方向多次來回運動完成楔形諧振腔層制備， 配合離子束輔助反應(yīng)電子束真空鍍膜技術(shù)， 完成線性漸變?yōu)V光片的制作。設(shè)計三組不同刻蝕次數(shù)的制作實驗， 制作出了工作波長為500~580nm、 線色散系數(shù)為1.03nm.mm-1的線性漸變?yōu)V光片。實驗結(jié)果表明， 通過調(diào)節(jié)樣品臺運動速率或者刻蝕次數(shù)，能夠制備出具有預(yù)期楔角諧振腔層的線性漸變?yōu)V光片。
