如今，超快激光器 （飛秒和皮秒脈寬）是工業(yè)生產(chǎn)過程中的一個重要組成部分。憑借其高質(zhì)量的非熱材料加工能力，再加上在激光技術(shù)、工藝開發(fā)、光束控制和傳輸?shù)确矫娴倪M步，從而進一步擴大了超快激光器在工業(yè)市場上的應(yīng)用范圍。不過，為了維持投入和產(chǎn)出的平衡，必須同時滿足以下條件：首先必需證明其在工業(yè)加工過程中的技術(shù)可行性，由于超快激光和物質(zhì)之間的相互作用具有獨特性，因而需要對這一過程有一個精細(xì)的科學(xué)的理解；其次，工業(yè)生產(chǎn)的生產(chǎn)率必須確保能給終端用戶帶來與其投資相匹配的收益，這勢必推動在光束控制和傳輸方面的進步，以充分利用潛在的加工速度。 wi-{&  
2HJGp+H  
　　消費電子產(chǎn)品領(lǐng)域顯然提供了最多的證據(jù)。手機、微處理器、顯示器、內(nèi)存芯片都是極其復(fù)雜的組件，由大量的不同材料、尺寸很小、厚度極小的多層材料組成。因而需要先進的、高精密度的加工能力，以及在經(jīng)濟上可行的大批量生產(chǎn)的能力。下面舉例說明為什么我們需要同步發(fā)展加工、激光技術(shù)以及新的光束傳輸技術(shù)，來滿足目前以及未來可能出現(xiàn)的挑戰(zhàn)。 f%TP>)jag!  
}WG -R  
　　制造手機、平板電腦或電視用的平板顯示器是如今最復(fù)雜的技術(shù)之一，困難程度類似或更甚于二十世紀(jì)六十年代的阿波羅計劃。不同的生產(chǎn)步驟涉及了大量不同的材料，它們具有微米級的橫向分辨率和數(shù)十納米的厚度。由于整個過程都很有難度，將工業(yè)生產(chǎn)率（能通過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測的產(chǎn)品比例）視為一項機密和挑戰(zhàn)也就不足為奇了。一個關(guān)鍵的限制是壞點在面板上的存在，這將阻礙屏幕的商業(yè)化。在過去幾年中開發(fā)了幾種不同的修復(fù)工藝，通常都涉及多波長納秒激光器。例如，通過激光碳化或者切割控制像素的薄膜晶體管的電極，來修復(fù)一個亮的像素（圖1）。 ffE>%M*  
~m@w p  
　　當(dāng)前的技術(shù)已經(jīng)達到極限。因為在高清屏幕的分辨率方面的進步，像素的尺寸變得越來越小，與之相關(guān)的納秒激光器加工的熱效應(yīng)限制了修復(fù)的質(zhì)量。此外，包括有機發(fā)光二極管（OLED）和有源矩陣發(fā)光二極管（AMOLED）在內(nèi)的新的顯示技術(shù)廣泛使用了有機和高分子材料，這些材料對加熱高度敏感，因而與熱處理格格不入。由于脈沖持續(xù)時間非常短，所以超快激光實際上很適合非熱微加工，也不會產(chǎn)生熱。它們在先進的屏幕修復(fù)加工領(lǐng)域的應(yīng)用日益擴大，從而推動了新一代緊湊的高速多波長超快激光器的發(fā)展。 O(f&0h
!  
9w,u4q  
　　一些工業(yè)加工過程已經(jīng)開始利用高精度的超快激光加工。這包括選擇性燒蝕（通常可以實現(xiàn)精確到30nm/脈沖的燒蝕率），以及高精度薄膜晶體管電極切割，切割寬度小于2μm。這些加工過程需要開發(fā)先進靈活的光束整形技術(shù)，以獲得平頂光束并確保其均勻傳輸，并能塑形成樣品的形狀，尺寸低至2×2μm。 rlVo}kc7:  
o[CjRQY]P  
　　在另外一個例子中，半導(dǎo)體電路變得越來越復(fù)雜，它們要求在更小的尺寸上集成更多的功能。因此，現(xiàn)在的晶片是由許多層的多種材料組成，例如適用于快速運行的低介電常數(shù)材料。半導(dǎo)體制造業(yè)中的一個重要的過程就是晶圓的劃切和分離，即將一個晶圓切割成單獨的晶片（如圖2）。傳統(tǒng)上來說是用金剛石鋸的加工方法，但是目前的技術(shù)已經(jīng)達到了極限。由于低介電常數(shù)材料的脆性、較低的厚度和較多的層數(shù)，發(fā)生裂紋和分層剝離等負(fù)面影響的幾率不斷升高。 mnWbV\ 常德市| 神农架林区| 兴义市| 宿松县| 清涧县| 科技| 宜川县| 正蓝旗| 九龙城区| 望江县| 成武县| 庄河市| 股票| 布拖县| 宁陕县| 石台县| 通化市| 习水县| 二手房| 扬州市| 桑植县| 政和县| 临猗县| 新龙县| 文昌市| 高要市| 虹口区| 新河县| 静安区| 兴城市| 阿拉善左旗| 景东| 乌兰县| 通道| 桃江县| 西吉县| 濮阳市| 新密市| 边坝县| 公安县| 平定县|